研究開発分類

研究装置用ラインナップ

研究開発用シリコン深掘り装置

研究開発用シリコン深掘り装置

ボッシュプロセスに独自技術を加えて確立したもので、量産対応のMEMS・半導体用シリコン深掘り装置です。
大学向けシリコン酸化膜犠牲層エッチング装置

大学向けシリコン酸化膜犠牲層エッチング装置

大学向けMEMS用途で、無水HF(フッ化水素)とアルコールによるシリコン酸化膜犠牲層エッチング装置です。

シリコン犠牲層エッチング装置

シリコン犠牲層エッチング装置

MEMS用途で、XeF2(2フッ化キセノン)によるシリコン犠牲層エッチング装置です。
Si深掘り/酸化膜/バリア/シード統合装置

Si深掘り/酸化膜/バリア/シード統合装置

300mmウェーハ対応のSi深掘り、酸化膜・バリア/シード層の形成に最適な統合装置です。