Information 新着情報

News

「The BEST Suppliers of Focused Suppliers of Fab Equipment部門」で第7位を受賞しました。

「The BEST Suppliers of Focused Suppliers of Fab Equipment部門」で第7位を受賞しました。

SPP テクノロジーズ株式会社(東京都千代田区 社長:速水 利泰)の化合物エッチング装置“APS-Spica”(エーピーエス スピカ)が、『電子デバイス産業新聞』が主催する「第22回半導体・オブ・ザ・イヤー2016」半導体製造装置部門で優秀賞を受賞しました。

本賞は、2015年4月~2016年3月の間に新製品(バージョンアップ等を含む)として発表された製品・技術が対象で、応募部門として①半導体デバイス部門、②半導体製造装置部門、③半導体用電子材料部門の 3 部門があり、開発の斬新性、量産体制の構築、社会に与えたインパクト、将来性などを基準に、電子デバイス産業新聞の記者による投票で受賞者が選定されます。

従来、GaNやGaAsなどの化合物エッチング装置では、イオンダメージによるデバイス特性の悪化やエッチング量の制御などが課題となっていました。今回、開発したAPS-Spicaは、上記の課題を解決し、量産向けに最適化した新型装置で、既に2件の納入実績があった点が高く評価されました。 今後も、お客様のニーズに応えられるよう、取り組んでまいります。