新型シリコン深掘り装置 “Proxion” をリリースしました。

SPPテクノロジーズ株式会社（東京都千代田区社長：速水利泰）は、MEMSデバイスやプラズマダイシング向けのソリューションとして、新型シリコン深掘り装置 “Proxion”（エーエスイープロキオン）の販売を開始致します。SPPテクノロジーズでは、MEMS及び半導体向け製造装置の開発・製造・販売を通して日本の産業発展の一翼を担い、社会に貢献する企業を目指しております。今後ともよろしくお引き立ての程お願い申し上げます。

今回発売致しました“Proxion”の特長は、以下の通りです。

●MEMSやプラズマダイシング向けに開発した、高速シリコン深掘りの最新鋭装置

●高開口パターンで高均一性・高エッチングレート・チルトレスを同時に実現《従来機“Pegasus”（エーエスイーペガサス）の約2倍のエッチングレート》

●新構造プラズマソース・新型ウェハ試料台搭載によるプロセスウィンドウ拡大

●温室効果ガス排出を低減する新機構搭載など

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