新型プラズマダイシング装置 “Mosaic” の取り扱いを開始しました。

SPPテクノロジーズ株式会社（東京都千代田区社長：速水利泰）は、ダイシング向けのソリューションとして、新型プラズマダイシング装置“Mosaic”（モザイク）の販売を開始致します。SPPテクノロジーズでは、MEMS及び半導体向け製造装置の開発・製造・販売を通して日本の産業発展の一翼を担い、社会に貢献する企業を目指しております。今後ともよろしくお引き立ての程お願い申し上げます。

今回取り扱いを開始しました“Mosaic”の特長は、以下の通りです。

●フレーム付き、150mm、200mm、300mmウェーハでの、DAG（薄化後ダイシング）に対応した最新エッチングシステム

●最新Rapier-Sプロセスモジュールにより、高スループットを実現

●チップの欠けやクラックを発生させず、歩留まり向上が可能

●ダイシング幅の縮小が可能で、チップ数の増加が可能

●300mm量産工場で実績のある高信頼性fxPプラットフォームを採用

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