シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 “Vetelgeuse” をリリースしました。

SPPテクノロジーズ株式会社（東京都千代田区社長：速水利泰）は、エッチングソリューションの１つとして、５枚バッチ対応シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置“Vetelgeuse”（ベテルギウス）の販売を開始致します。SPPテクノロジーズは、MEMS及び半導体向け製造装置の開発・製造・販売を通して日本の産業発展の一翼を担い、社会に貢献する企業を目指しております。今後ともよろしくお引き立ての程お願い申し上げます。

今回販売を開始致しました“Vetelgeuse”の特長は、以下の通りです。

●種々アプリケーションにて実績あり（オシレータ／赤外線センサ／ミラーアレイ）

●犠牲層をスティクションなくエッチングし、微細構造のリリースに有効（SiGe MEMS：SiGe膜が犠牲層上部に成膜形成された場合でも対応可能）

●アルミ電極を含む構造でも、アルミを腐食することなくエッチングが可能

●エッチング選択比を取り難いSiN膜に対し、10以上を達成（対SiO2膜）

●最大５枚バッチでの処理が可能（最大基板サイズ：200mm）

●ドライプロセスで廃液処理不要、低メンテナンス頻度で安定稼働

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