Products 製品情報

2024.02.02Products

SPT超低ダメージプロセス装置の概要をご紹介

2023.09.01Products

酸化膜／窒化膜用 PECVD装置「Cetus（セタス）」加工性能実例を紹介

2023.04.06Products

シリコン酸化膜ガスエッチング装置 「Vetelgeuse（ベテルギウス）」 加工性能実例を紹介

2022.10.27Products

化合物エッチング装置 「Spica（スピカ）」 の加工性能実例を紹介

2022.10.12Products

【加工例追加】Si DRIE装置 「Predeus（プレデウス）」 の加工性能実例を紹介

2022.09.28Products

化合物／誘電体材料エッチング装置「Sirius（シリウス）」加工性能実例を紹介

2017.12.02Products

シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 “Vetelgeuse” をリリースしました。

2017.05.29Products

分子膜成膜装置 “MVD” の取り扱いを開始しました。

2016.12.13Products

新型プラズマダイシング装置 “Mosaic” の取り扱いを開始しました。

2016.12.13Products

新型シリコン深掘り装置 “Proxion” をリリースしました。