■SPT通信vol.52：メルマガ定期便配信しました！

■SPT通信vol.52■━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━2025年5月28日号【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします！　　　　～スタッフパーティーの様子もご覧ください♪～【02】装置特集　～SPT成膜技術のご紹介～【03】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内【04】常時ご相談受付中 ■社員に訊いてみました　～義母と娘のブルース～ ■編集後記　～我慢とは煩悩のひとつ！？～ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ お客様各位いつもお世話になります。 SPPテクノロジーズ株式会社マーケティング部の菅千絵子です。私は東京本社勤務ですが、今月は珍しく2週にわたり尼崎へ出張してきました。個人的には、新幹線の移動時間が一番仕事（やりたいこと）が捗るゴールデンタイムなのですが、みなさんはいかがでしょうか？今回の「社員に訊いてみましたコーナー」に登場するＹは、まさにこの原稿を新幹線で執筆したそうで。その内容がとても興味深く面白いものでしたので、ぜひそちらもご覧くださいませ。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします！　　　　～SPTスタッフパーティーの様子もご覧ください♪～ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 　今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなっていきます。そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。フォロワー数に伸び悩んでいましたが、じわじわと増えて、185名！つながってくださいましたみなさま、ありがとうございます。でもやはりこのメルマガ読者さま全員とつながりたい。まだご登録されていない方は、是非ともご登録をお願いいたします。また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎！ぜひぜひ、SPTのアカウントをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。 https://f.msgs.jp/r/ctest.do?26b9z_5_8J_jst また、先日開催した「SPTスタッフパーティー」の様子。ぜひこちらからご覧くださいませ。（私もどこかにいます。笑） https://www.linkedin.com/posts/spp-technologies-co-ltd_spt-team-gathering-in-japan-2025-activity-7330081097558437888-7PhG LinkedIn以外にも、HPの三か国語対応しています。一歩ずつGlobalな会社になれるよう、邁進してまいりますので、引き続き、ご指導・ご鞭撻のほど、よろしくお願いいたします。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 【02】装置特集　～SPT成膜技術のご紹介～ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ SPPテクノロジーズは、エッチング装置を得意としていますが、実は、いろいろな成膜装置、成膜プロセスも提案をさせていただいております。様々なウエハーの上にSPTが得意としているプラズマを使って膜を付けることができます。この技術はPECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) と呼ばれます。 ※ウエハー表記は経済産業省発行の資料に倣っています例えば、安全保障貿易管理 Export Control https://www.meti.go.jp/policy/anpo/ しばしばうかがうご要望としては、 300℃くらいまでなら温度上げてもいいから・デバイスを保護してくれる膜（硬い）・湿気から守ってくれる膜・電気を遮断する膜・赤外光を漏らさず閉じ込める膜気にされるのは、・基板から剥がれたりしないの？・凹凸のある表面の上にも、隙間や空洞なくぴったり付けられるの？・長い時間経っても安定しているの？＝膜の各種特性値は変わらないの？・成膜容器の中はどうやってクリーニングするの？ドライクリーニングはできるの？最近のご要望ですと、・100℃くらいの温度で膜を付けられないの？ ▲プロセス前後の温度差でウエハーが割れてお困りとのこと。・10μmの厚さで膜を付けられないの？など他にも、・良質の膜を、一度にたくさん作りたいのだけど・1日にたくさんのウエハーを処理したいのだけどなどがあります。また、こちらのご要望には、縦型熱処理装置部門（本拠地：カリフォルニア州）がお応えできます。 ※バッチ型成膜（縦方向にウエハーを平行積み上げ）200枚で一括同時にプロセスウエハーを加熱する温度は、PECVDの温度＋500℃～、1000℃くらいまでをご想像ください。プロセス実例等は下記のリンクをご参照願います。 ●酸化膜／窒化膜用 PECVD装置「Cetus」 https://www.spp-technologies.co.jp/ja/2023/09/01/cetus/ ●低熱ダメージ PECVD装置「Capella」 https://www.spp-technologies.co.jp/ja/2024/02/02/new/ ●縦型熱処理装置部門の取り扱い装置（所在：米国サンノゼ） https://www.sptmicro.com/ プラズマエッチング装置だけでなくプラズマ成膜装置でも、ぜひSPTにお声かけください。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 【03】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ ＜定期メンテナンス契約＞ SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。＜スペアパーツ販売＞装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？＜装置アップグレード＞最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？＜トレーニング＞オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。詳しくは、 Websiteまたは電話窓口よりお問い合わせをお願いいたします。 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 【04】常時ご相談受付中 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ お困りごと、どんなことでもご相談ください！ ■お問い合わせフォーム https://f.msgs.jp/r/ctest.do?26b9A_5_8J_jst ■電話でのお問合せ窓口　　【営業部】　藤本　　　TEL：　06-6489-5997 … 続きを読む ■SPT通信vol.52：メルマガ定期便配信しました！