金属膜成膜装置 SPTS Technologies社製 Sigma

金属膜成膜装置　Metal Film Physical Vapor Deposition System
パワーデバイス向け厚膜アルミ膜や、圧電体薄膜であるアルミ窒化膜、3次元貫通電極（TSV）用バリア／シード膜などの形成に最適なスパッタ（PVD）装置です。