Products 製品紹介

金属/誘電体膜成膜装置 SPTS Technologies社製 StratIon

成膜/熱処理

SPTS
金属/誘電体膜成膜装置 Ion Beam Deposition System

金属/誘電体膜成膜装置
Ru(50nm)成膜における良好な均一性
Ru(50nm)成膜における良好な均一性
(<0.2% 3 sigma)
PtMn(50nm)成膜における表面粗さ
PtMn(50nm)成膜における表面粗さ
(0.15nm rms)

Feature 特徴

マグネティックトンネルジャンクション用途での200/300mmウェーハ対応イオンビーム成膜装置
最大16膜種の連続成膜が可能
高品質な薄膜成膜が可能
2種類のクラスタ型搬送システムをラインナップし、研究開発から量産まで対応可能

Application アプリケーション

パワーデバイス

MEMSデバイス(圧電素子)

化合物半導体

RFデバイス

成膜/熱処理 その他の製品