Products 製品紹介
分子膜成膜装置 SPTS Technologies社製 MVD
成膜／熱処理
分子膜成膜装置 Molecular Vapor Deposition System
分子を材料として、分子膜を形成する成膜装置です。
※Perfluorodecyltrichlorosilane
Feature 特徴
- 各種機能膜を成膜可能（スティッキング防止／撥水／親水／防湿／防腐食／防汚／生体適合性膜 など）
- 種々のアプリケーションにて実績あり
- 複雑な形状を持つ構造物の上に、一様な厚みでコンフォーマルな成膜が可能
- 種々の基板上に成膜可能
- 低温（150℃以下）にて成膜可能
- 200mm以下ウェーハ／300mmウェーハ／4.5Gパネルサイズ（930 x 720 mm）に対応
