分子膜成膜装置 “MVD” の取り扱いを開始しました。

SPPテクノロジーズ株式会社（本社：東京都千代田区、社長：速水利泰）は、成膜ソリューションの１つとして、英国SPTS Technologies社（本社：Wales、社長：Kevin Crofton）の分子膜成膜装置“MVD（Molecular Vapor Deposition）シリーズ”の取り扱いを開始致します。SPPテクノロジーズは、MEMS及び半導体向け製造装置の開発・製造・販売を通して日本の産業発展の一翼を担い、社会に貢献する企業を目指しております。今後ともよろしくお引き立ての程お願い申し上げます。

今回取り扱いを開始致しました“MVDシリーズ”の特長は、以下の通りです。

●種々のアプリケーションにて実績あり（MEMSマイク／加速度センサ／IJH等）

●各種機能膜を成膜可能（スティッキング防止／親水／撥水／防湿／防食／防汚）

●200mm以下、300mmウェーハ／4.5Gパネルサイズ（930 x 720 mm）に対応

●複雑な形状を持つ構造物の上にコンフォーマルな成膜が可能

●低温（150°C以下）にて成膜可能

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