About SPT 会社案内

Company outline 会社概要/グループ会社

会社概要

商号 SPPテクノロジーズ株式会社(英名: SPP Technologies Co., Ltd.)
本社所在地 〒100-0003 東京都千代田区一ツ橋一丁目2番2号   住友商事竹橋ビル4階
電話番号 TEL:03-3217-2819 
FAX:03-3217-2829
拠点情報
設立年月日 2011年(平成23年)10月
資本金 495百万円 (株主:住友精密工業株式会社)
社長 速水 利泰
取締役 田中 雅彦、 Vivek Rao (SPT Microtechnologies USA社)
監査役 三浦 智代
社員数 社員数 220名(2024年4月1日 現在)
事業内容 MEMSデバイスならびに半導体デバイス製造用装置の開発、製造、輸出/輸入、販売、および保守(リモートサポート対応可能)

本社

尼崎事業所

製品

[エッチング装置] シリコン深掘り(Si DRIE)、SiC、 GaN、 GaAs、シリコン酸化膜 他 [成膜装置] PECVD:SiO2膜、SiN膜 他 [熱処理装置] LPCVD:Poly-Si膜、SiN膜、アニール 他 [ミニマル装置] シリコン深掘り(Silicon DRIE)、TEOSプラズマCVD
酸化膜/窒化膜成膜装置(PECVD、プラズマCVD)
Cetus
シリコン深掘り装置 シリコン深掘り装置(Si DRIE、Silicon DRIE)
シリコン深掘り装置(Si DRIE、Silicon DRIE)
Predeus

ビジネス範囲

MEMSデバイスならびに半導体デバイス製造用装置の開発、製造、輸出/輸入、販売、および保守(リモートサポート対応可能)をおこなっております。また、ニッチマーケットをターゲットとして、夫々トップを狙います。
コア技術 真空、プラズマ、プロセス、自動機構
コア製品 シリコン深掘り装置 (半導体より1~2桁深いエッチング)・世界初の実用化(1995年)により、Si MEMSそのものが一気に開花 ・強い市場で、製品の増強、ソリューションの提供 ・強みを活かせる他の市場への展開
市場 MEMS※、パワーデバイス(パワー半導体)、RFデバイス(高周波デバイス)、LED  ※MEMS = Micro Electro Mechanical Systems、微小電子機械システム

グループ会社

社名 SPT Microtechnologies USA, Inc. (SPT USA 社)
本社 米国カリフォルニア州サンノゼ市
拠点情報 ドイツ、台湾
事業内容 MEMS・半導体製造工程用の熱処理炉関連ビジネス