Products 製品紹介
熱処理装置（縦型炉） SPT Microtechnologies USA社製 AVP/RVP-300
成膜／熱処理
熱処理装置（縦型炉） Vertical Furnace System
多種多様な要求に対して、最適なプロセスを高スループットにて提供可能な熱処理装置です。
Feature 特徴
- 酸化膜やドープ／非ドープの多結晶シリコン膜、窒化膜の成膜が可能
- 低ストレスの窒化膜の成膜、in-situクリーニングの提供が可能
- デュアル・ボート装置としては、最小フットプリントを実現
- デュアル・ボートの採用により、高スループットを実現
- ロードロック内を低酸素雰囲気にして、待機時の自然酸化膜を抑制
- 150mmウェーハと200mmウェーハの混載処理が可能（AVP）
- 300mmウェーハまでの処理が可能（RVP-300）
- Across-Flowインジェクターにより、面内膜厚均一性、バッチ内バラツキの低減が可能（RVP-300）
Application アプリケーション
MEMSデバイス ※
インクジェットプリンタヘッド
3次元貫通電極（TSV）
パワーデバイス（パワー半導体）
LED
光デバイス
RFデバイス(高周波デバイス)
※ MEMSデバイス：加速度センサ、ジャイロセンサ、圧力センサ、シリコンマイク、シリコン共振器、光スイッチなど
