2024.03.13 News

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■SPT通信vol.33■━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━2024年3月13日号
【01】神永晉氏が「2024 IEEE EDS Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award」
を受賞されました！
【02】「MEF2024（@東京都両国）」4/17（水）～4/18（木）に出展します！
【03】新製品のご紹介！
～超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー～
【04】2月配信後のアンケート結果……
引き続き、アンケートのご協力をお願いいたします
【05】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
【06】製品カタログのご案内
【07】常時ご相談受付中

■編集後記　～『X』はじめました～
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【01】神永晉氏が「2024 IEEE EDS Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award」
を受賞されました！
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この度、業務指南をいただいております
神永 晉 氏（かみなが すすむ。SKグローバルアドバイザーズ株式会社代表取締役
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8J_3_7E_jst　）が、
「2024 IEEE EDS Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award」を
受賞されました。

●Robert Bosch Award Recipient

https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8L_3_7E_jst

心よりお祝い申し上げます。

受賞理由は「ボッシュプロセスを用いたシリコンの深掘り」による業界への長年の貢献が評価されたためです。

このシリコン深掘りテクノロジーなしには、加速度センサ、ジャイロセンサ、マイクロフォン、
これらを内蔵する携帯機器の小型化・高機能化は成し得なかったと言っても過言ではありません。

2014年の賞創設以降、これまでの受賞者は学術界から選出されており、
産業界からの受賞は初の快挙とのことです。

●歴代受賞者
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8M_3_7E_jst

授賞講演の様子をSPPテクノロジーズのYouTubeチャンネルに掲載させていただけることになりました。

●SPT YouTubeチャンネル
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8N_3_7E_jst

みなさま、ぜひご覧ください。

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【02】「MEF2024（@東京都両国）」4/17（水）～4/18（木）に出展します！
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■名称：
MEMS Engineer Forum (MEF) 2024

■開催概要：
MEMS Engineer Forum (MEF) 2024　Websiteより
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8O_3_7E_jst

■会期： 2024年 4月17日(水) ～ 4月18日(木)

■会場： 東京両国のKFCホール（東京都墨田区横網1-6-1 国際ファッションセンタービル）
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8P_3_7E_jst

弊社ブースでは、現在普及しているIoT／IoEならびに5Gや、
自動運転などで重要な技術として注目されている化合物半導体デバイス、
MEMSセンサーの製造装置、また新製品の詳細も紹介させていただきます。

みなさまのご来場を心よりお待ちしております。

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【03】新製品のご紹介！
～超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー～
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SPPテクノロジーズでは、極低ダメージプロセス装置を『SEMICON Japan 2023』
弊社ブースにて発表させていただきました。

≪超低熱ダメージPECVD装置「Capella」≫
★デモンストレーションご要望をお待ちしております。

●特長
熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料（レジスト膜、樹脂基板等）の上への
良質成膜を可能としました。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus
300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。

●想定するアプリケーションの例
・量子コンピュータ素子部（ジョセフソン接合部）
・光学デバイス（LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板利用）
・大口径ウェハ パワーデバイス（プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制）

≪超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー≫
★開発中です。

●特長
従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。

●想定するアプリケーションの例
・高周波HEMTデバイス
・発光デバイス／受光デバイス

概要につきましては、下記リンクもご覧ください。
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8Q_3_7E_jst

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【04】2月配信後のアンケート結果……
引き続き、アンケートのご協力をお願いいたします
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メルマガ配信はいつも一方的ですから、ぜひ生の声をお聞かせいただきたい……
ということで、ご協力をお願いしているアンケート。

1月のメルマガでは、「新春お年玉企画」と題しまして、アンケートをお願いしたところ、
本当に多数の方にご協力いただき、大変うれしく存じております。

そして2月、メルマガ配信後に待ちわびていたアンケートですが……回答ゼロ件。

みなさまとの強固な繋がりを感じられるアンケート、
そしてそのお礼を考える楽しみ＆喜びをもたらしてくれるアンケート、
ゼロ件という結果に、本音を吐露すると寂しかったです。
（2月だからテーマはバレンタインと決めていたので）

3月の謝礼品のテーマはもちろん「ホワイトデー」です。笑
（甘いものが苦手な方は、その他ご意見の欄にご記載くださいませ）

みなさまからいただいたご意見は、社内でしっかりと対話をし、
必要な改善策を練っております。

前回、「遠隔支援サービスの動画があった方がわかりやすい」とのお声をいただきましたので、
SPT You Tubeチャンネルに動画をアップいたしました。
ぜひ、こちらもご覧ください。

https://youtu.be/oxYCgeuAVVE?si=5dBezjcoStIu8PR8

みなさまの忌憚なきご意見、SPT一同心よりお待ちしておりますので、
まだご回答いただいていない方は、ぜひこの機会にご協力くださいませ。

●アンケート第一弾
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8R_3_7E_jst

●アンケート第二弾
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8S_3_7E_jst

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【05】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
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＜定期メンテナンス契約＞
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。

＜スペアパーツ販売＞
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？

＜装置アップグレード＞
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、
省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？

＜トレーニング＞
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。

詳しくは、
Websiteまたは電話窓口よりお問い合わせをお願いいたします。

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【07】常時ご相談受付中
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お困りごと、どんなことでもご相談ください！

■お問い合わせフォーム
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8U_3_7E_jst

■電話でのお問合せ窓口
　　【営業部】　十河
　　　TEL：　06-6489-5997

　　【カスタマーサポート部】　寺本
　　　TEL：　06-6489-5848
　　　E-mail：　RSupport@spp-technologies.co.jp

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■編集後記　～『X』はじめました～
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みなさん、『X』（旧：Twitter）のアカウントは持っていますか？
私は個人的には持っているものの、今確認したところ2021年7月22日が最後のつぶやきでした……。

そんな私がふたたび『X』をはじめた（正確には参画？）のは、こちらのアカウント。

「MEMS Engineer Forum」＠Forum Mems
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8X_3_7E_jst
※ぜひともフォロー願います

★MEMS Engineer Forum (MEF) は、MEMS技術の現状と将来に迫るエンジニアを中心に
運営されるユニークな場です。
世界中のMEMS研究者、開発者、技術者が一堂に集うMEFは、次回2024年春の開催において、
記念すべき15回を迎えます。

（『X』プロフィールより）

そう、なんとこのメルマガをご覧いただいたMEF組織委員会の方から、お声がけをいただいただき、
プロジェクト『X』に参画することになったのです！

「MEFネットワーキングWGスペシャルアドバイザー」という肩書まで頂戴いたしました。
こんな光栄なことはございません。

私は昨年はじめてMEFを訪れたのですが、こういう形で自身が関わることになるとは、
1年前には思いもしませんでした。
（1年前のメルマガ編集後記に、MEF初体験の様子が描かれていますのでよろしければどうぞ）
●SPT通信vol.18：2023年4月26日号
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8Y_3_7E_jst

そこで、4月17日（水）、18日（木）に開催されるMEF2024までは、
主にこんなことをつぶやいていく予定です。

・講演者のプロフィール
・講演内容紹介
・出展企業の紹介

将来的には、MEMS業界レジェンドたちの知られざる一面！？　など、
まだ公開されていないあれやこれ。

そしてMEF2024で初お披露目される、とってもユニークな取り組みについても、
MEF展以降に発信していけたらと考えています。

＊

最近読んだある本に、こんな一節がありました。

【SNSの「いいね！」は応援】

私は「いいね！」を押す行為を「応援」とは捉えていませんでした。

では、どう捉えていたのか？

突如指が止まってしまった自身に困惑していますが、向き合ってみると……
そうですね、おそらくもっと「自分自身」にフォーカスをしていました。

だから、そこまで共感できなかったら押さないとか？（感覚的なものでしかないのですが）
そう気軽には「いいね！」を押していなかった気がします。

でも「応援」と捉えると、不思議とすべての人に「いいね！」を押したくなります。
距離感とか関係なく、応援しあえる世界って素敵だなって思うから。

プロジェクト『X』。
新しいことを始めるときは、ワクワクとそわそわが混在して妙に浮足立ちます。
だからこそ、多くの方に形は違えど関わっていただけると、とても心強いです。

ぜひ「MEMS Engineer Forum」＠Forum Memsをフォローし、
応援いただけるとうれしいです。

https://f.msgs.jp/r/ctest.do?20D8X_3_7E_jst

（文責：菅千絵子）