Information 新着情報
■SPT通信vol.18：メルマガ定期便配信しました！
配信ご希望の方は、以下メルマガ登録フォームよりご登録くださいませ。
https://www.spp-technologies.co.jp/mailmagazine/
■SPT通信vol.18■━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━2023年4月26日号
【01】遠隔支援サービス提供中！
【02】製品カタログのご案内
【03】装置特集：Si DRIE装置「Predeus」
【04】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレードのご案内
【05】常時ご相談受付中
■ChatGPTに訊いてみました ～MEMS装置とは？ プラズマCVD装置とは？～
■編集後記 ～MEF2023で得たもの～
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【01】遠隔支援サービス提供中！
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢（コロナ対応）を反映した
新しいサポートサービスの形態です。
“ 必要な時に繋がる安心 ”
“ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
“ 熟練技術者による高度な支援 ”
“ 原因特定・移動時間の削減 ”
“ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”
を提供させていただきます。
具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客様現場と弊社サポート員をつなぎ、
リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。
●Microsoft HoloLens 2 説明
https://www.microsoft.com/ja-jp/hololens
ご興味ございましたら、下記までお問い合わせをお待ちしております。
【カスタマーサポート部】 寺本／波部
TEL： 06-6489-5848
E-mail： RSupport@spp-technologies.co.jp
こちらもご参考くださいませ。
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1WPKc_4_6G_jst
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【03】装置特集：Si DRIE装置「Predeus」
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
今回は、「Predeus」を紹介させていただきます。
ボッシュプロセスにSPT独自技術を加え確立したMEMS用シリコン深掘り装置のベストセラー機です。
これまでに培ってきたプロセスノウハウを最大限に発揮できるように継続改善を重ねた
ハードウェアモジュールとプロセスソフトウェアを搭載し、お客様ご所望の加工に最大限お応えします。
＜本製品の特長＞
ウェハ面内でのTiltingを抑制し、収量向上を実現します。
機器の改善により、電力削減効果を期待いただけます。
＜新開発技術＞
新開発の高均一プラズマ源（プラズマ生成・輸送を詳細に検討・改善し、均一なプラズマ密度を達成）、
新高速スイッチング手法、イオン垂直入射ESCを備え、高精度／高均一性／高速／低スキャロップ加工を実現します。
＜適用アプリケーション＞
高精度加工を必要とするMEMSデバイス、従来MEMSデバイスにおける収量向上、パワーデバイス、フィルタデバイス、
シリコンフォトニクス 等、将来に向けた各種量産にてご利用下さい。
加工性能実例は、こちらのURLをご覧ください。
●Si DRIE装置 「Predeus」
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1WPKe_4_6G_jst
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【03】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
＜定期メンテナンス契約＞
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
＜スペアパーツ販売＞
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
＜装置アップグレード＞
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、
省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
＜トレーニング＞
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
詳しくは、
Websiteまたは電話窓口よりお問い合わせをお願いいたします。
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
【04】常時ご相談受付中
━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━
お困りごと、どんなことでもご相談ください！
■お問い合わせフォーム
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1VRv6_1_6A_jst
■電話でのお問合せ窓口
【営業部】 十河
TEL： 06-6489-5997
【カスタマーサポート部】 寺本／波部
TEL： 06-6489-5848
E-mail： RSupport@spp-technologies.co.jp
=======================================================
■ChatGPTに訊いてみました ～MEMS装置とは？ プラズマCVD装置とは？～
=======================================================
最近では耳にしない日はないほど、注目されている「ChatGPT」。
みなさんも一度は訊ねたことがあるのではないでしょうか？
ちなみに、「菅千絵子はどんな人物ですか？」と訊ねてみると……
「申し訳ありませんが、私は菅千絵子さんについて情報を持っていません。
菅千絵子さんが有名人や著名な人物であれば、どのような分野で活躍されているか、
また、何か注目すべき業績や出来事があったかをお知らせいただければ、
可能な限りお答えできるかもしれません。」
という残念な結果に。とりあえず、ChatGPTに認識してもらえる人物を目指したいところです。
続いて2問、こんな質問をしてみました。
●MEMS製造装置とは？
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）製造装置は、微細な機械部品を作成するための装置です。
MEMSは、マイクロサイズの機械部品と電子回路を組み合わせたもので、
センサーやアクチュエーター、マイクロミラーなど、様々な応用があります。
MEMS製造装置は、微細な構造を持つMEMSデバイスを作り出すために必要な工程を
一括して実行することができます。
主に、リソグラフィ、エッチング、蒸着、プラズマ処理などの工程が含まれます。
これらの工程を組み合わせて、MEMSデバイスを製造することができます。
MEMS製造装置は、高い精度と信頼性を持ち、微細な構造を持つMEMSデバイスの大量生産に適しています。
MEMSデバイスは、自動車、医療機器、通信機器、セキュリティシステム、
エネルギー管理システムなど、様々な分野で利用されています。
●プラズマCVD装置とは？
プラズマCVD（Chemical Vapor Deposition）装置は、薄膜を形成するための装置で、
プラズマを利用して化学反応を促進させ、高品質な薄膜を効率的に形成することができます。
プラズマCVD装置は、主に半導体、ディスプレイ、光デバイス、磁気デバイスなどの製造工程で使用されます。
プラズマを用いることにより、常圧下では反応が進行しない化学反応を、
低圧下で進行させることができ、高品質で均一な膜を形成することができます。
プラズマCVD装置は、プラズマ発生用の電源、反応器、基板ホルダー、
ガス供給システム、真空ポンプなどの部品で構成されています。
反応器内にある基板ホルダーに基板を取り付け、反応器内にガスを流し、
プラズマを発生させることで、膜の成長が始まります。
膜の成長過程でのプラズマ処理によって、薄膜の質や性質を調整することができます。
プラズマCVD装置は、微細化された半導体素子やデバイスの製造に必要な高品質な薄膜を
形成するために欠かせない装置であり、高い技術力を持つメーカーが開発・提供しています。
＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿＿
これを1分足らずで答えてくれたChatGPT、完全に私の脳内を超えています。
（言うまでもありませんが……）
ただ、SPT装置に限っていえば！ ChatGPTを超えていく自信があります！
ぜひ、お試しに、Chat菅千絵子にご連絡くださいませ。
●Chat菅千絵子はこちら
Chieko.suga@spp-technologies.co.jp
●ChatGPTはこちら
https://chat.openai.com/chat
=======================================================
■編集後記 ～MEF2023で得たもの～
=======================================================
MEF2023＠両国に初参加してまいりました。
「初体験」というのは、いくつになってもよいものですね。
「初めて」だから感度も高い。
今回、私の心が動いた初体験を簡単にシェアさせていただきたいと思います。
●Opening Remarks（開会式）
世界各国のMEMSの大御所が集結した会場、隣は貫禄のある外国人。
もちろんスピーカーもEnglish.
その場にいるだけで変な高揚感に包まれました。
●Exhibitor’s presentation（出展企業プレゼン）
人生初、100名超の前でのプレゼンテーション。
とにかく浮足立ちましたが、心をこめてSPTをご紹介させていただきました！
その後、プレゼンをきっかけにお声がけいただくことができたのは、
何よりのフィードバックでした。
●MEF Networking Party（レセプションパーティー）
MEMSの大御所に囲まれた立食懇親の場。正直ドキドキそわそわ……していましたが、
自然と近くの方とお話しをしている自分がいたのはとっても嬉しいマイサプライズ。笑
ビンゴなど楽しい企画もより心を解放してくれました。
ご用意されていたケータリングのクオリティも高く、
企画・運営の方々のセンスとお心配りに感謝しきりです。
●おまけ
初めて降り立ったJR両国駅。
会場までは徒歩7分ですが、その道すがらも相撲力士の像があったり、
日本の魅力を存分に感じることができました。
今度はベタにちゃんこ鍋を食べに行こうと思います。
（文責：菅千絵子）