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■SPT通信vol.20■━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━2023年6月7日号
【01】遠隔支援サービス提供中！
【02】製品カタログのご案内
【03】装置特集：化合物／誘導体材料エッチング装置「Sirius」＆「Spica」をご紹介
【04】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレードのご案内／トレーニングのご案内
【05】常時ご相談受付中
■社員に訊いてみました ～憧れを現実に……乗馬はじめてみました～
■編集後記 ～やさしい動物といえば～
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【01】遠隔支援サービス提供中！
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SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢（コロナ対応）を反映した
新しいサポートサービスの形態です。
“ 必要な時に繋がる安心 ”
“ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
“ 熟練技術者による高度な支援 ”
“ 原因特定・移動時間の削減 ”
“ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”
を提供させていただきます。
具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客様現場と弊社サポート員をつなぎ、
リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。
●Microsoft HoloLens 2 説明
https://www.microsoft.com/ja-jp/hololens
ご興味ございましたら、下記までお問い合わせをお待ちしております。
【カスタマーサポート部】 寺本／波部
TEL： 06-6489-5848
E-mail： RSupport@spp-technologies.co.jp
こちらもご参考くださいませ。
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1WPKc_4_6G_jst
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【02】装置特集：化合物／誘導体材料エッチング装置「Sirius」＆「Spica」をご紹介
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今回は、「Sirius」＆「Spica」をご紹介させていただきます。
化合物材料や誘電体材料のプラズマエッチングに用いていただく装置です。
目的や用途に応じて「Sirius」または「Spica」をご提案させていただきます。
「Spica」は特に、化合物半導体の低ダメージかつ高精度のエッチングを得意としています。
●Sirius
＜本製品の特長＞
・特徴的なプラズマ源によりウェハ上に高イオン密度のプラズマを生成し、
難エッチング材料の高 エッ チングレートを実現
・ウェハ上でのイオン密度分布を調整した良均一性エッチング
・異方性エッチング、高アスペクト比エッチングが可能
・様々なウェハサイズに対応（標準：Φ3インチ～Φ8インチ）
※他のウェハサイズ、ワーク形状につきましては、お問い合わせ下さい。
・レジストマスクだけでなく、SiO2マスクやメタルマスクの使用実績も多数あり
＜適用アプリケーション＞
・シリコンフォトニクス／光導波路：SiO2膜やSiN膜
・フィルタデバイス材料：LT/LN（LiTaO3/LiNbO3）や水晶振動子 等
・高周波電子デバイス材料：SiCのバックビアエッチング
・パワーデバイス材料：SiCトレンチ
・MEMS分野：マイクロレンズやマイクロ流路
・その他：有機系材料、Poly-Si 等
★化合物／誘電体材料エッチング装置「Sirius」の加工性能実例はこちらのURLをご覧ください。
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1XiQB_6_6I_jst
●Spica
＜本製品の特長＞
・Siriusとは対照的にウェハへのダメージを低減させたエッチング装置
・低RFパワーでも精度良く出力できるRF電源を搭載し、高精度加工を実現
・F系だけでなく、Cl系でのエッチングが可能
・様々なウェハサイズに対応（標準：Φ3インチ～Φ8インチ）
※他のウェハサイズ、ワーク形状につきましては、お問い合わせ下さい。
＜適用アプリケーション＞
・高周波電子デバイス材料：SiN、GaN、GaAs、InP
・パワーデバイス材料：GaN、GaO などを高速で安定してエッチング可能
・MEMS分野：マイクロレンズやマイクロ流路
・その他：有機系材料、磁性膜 等
★化合物／誘電体材料エッチング装置 「Spica（スピカ）」 の加工性能実例はこちらのURLをご覧ください。
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1XiQC_6_6I_jst
上記材料以外の微細加工やプロセス要望等がございましたら、
まずはご相談くださいますようお願いいたします。
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【03】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
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＜定期メンテナンス契約＞
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
＜スペアパーツ販売＞
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
＜装置アップグレード＞
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、
省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
＜トレーニング＞
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
詳しくは、
Websiteまたは電話窓口よりお問い合わせをお願いいたします。
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【04】常時ご相談受付中
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お困りごと、どんなことでもご相談ください！
■お問い合わせフォーム
https://f.msgs.jp/r/ctest.do?1VRv6_1_6A_jst
■電話でのお問合せ窓口
【営業部】 十河
TEL： 06-6489-5997
【カスタマーサポート部】 寺本／波部
TEL： 06-6489-5848
E-mail： RSupport@spp-technologies.co.jp
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■社員に訊いてみました ～憧れを現実に……乗馬はじめてみました～
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こんにちは！ 技術部のTと申します。
これまで当たり前にできたことがそうではなかったと気づかされたコロナ禍。
人生について振り返り、長年やってみたいと思っていた事をリストアップし、
行動に移した方も多いかと思います。
私もその一人です。
「よし、先延ばしにせず、やってみよう！」と一念発起し始めた、ある趣味についてご紹介します。
＜きっかけ＞
馬に乗るという事への漠然とした憧れがあった。北海道旅行でのホーストレッキング。
そうです。その趣味は乗馬です。
乗馬というとちょっと敷居が高いイメージがありますよね。
私もそう感じていました。
確かにスタートするのに初期費用はかかりますが、
一旦始めてしまえば、騎乗回数をコントロールし、楽しく通えています。
代表的な競技の馬場馬術（ドレサージュ）、障害飛越（ジャンピング）の他、
エンデュランス（マラソンのようなもの）、動く馬の上で器械体操をするものなど、
たくさんの競技があることを、乗馬レッスンをスタートして初めて知りました。
ビギナーの域を出ていない私としてはどれもこれもが未知の世界です。
始めて3年目ですが、奥深くてあきません。
初心者目線ではありますが、
乗馬ライフを少しでも共有できたらと思います。
～幅広い年齢層の方が通っている～
老若男女、小学生から80代の方まで通っていらっしゃいます。
体力や仕事に応じて、スケジュールが柔軟に組みやすく、習いやすい環境だと感じています。
ひとりで入会される方も多いようです。（私もそうでした）
体育会系でがっつり競技にでている人もいれば、健康維持の為や馬の手入れが好きでという人
様々いらっしゃいますね。
私は後者です。
～馬とのふれあいができる～
馬はいろいろな表情を見せてくれます。
ほけーっと眠そうにしていたり、ペロペロと舌を出してリラックスしていたり、
興奮してヒヒーンと鳴いていたり、おやつを頂戴！ とアピールするのに前肢を動かしたり（前掻き）、
ブブブブと鳴いたり。。
全身を使って気持ちを表現します。耳がアンテナのように様々な方向に動いて、本当にかわいいです。
性格が個体差で違うので、特徴をつかむまで観察や経験が必要ですが、
その馬の特徴がある程度理解できるようになると、関係性がよくなってくるし、
たとえ馬が我儘しても、それもまた愛おしく、何度でも会いたくなります。
毛色も様々あります。
栗毛、鹿毛、青毛、芦毛、白毛。。。同じ毛色だと見分けがつきにくいのですが
額のマークやタテガミや尻尾の毛色などの特徴をつかむことで、
だんだん見慣れて名前を選別できるようになります。
レッスンを取っていない日でも、馬に会いにクラブを訪れる人も多数います。
そして皆さんそれぞれに推し馬がいて、ニンジンやリンゴを貢いでいますね。
～全身運動で運動不足解消＆気分リフレッシュ そしてダイエット効果は？！～
一見すると乗っているだけの軽めの運動に思われがちな乗馬ですが、
思いのほかしっかりと体幹を鍛えられるスポーツです。
動く馬の上にきちんとした姿勢をキープしつつ乗ったり
馬の背中の反動に合わせて、立ったり座ったりの運動（いわば馬上にてスクワット）したり
また、馬へ合図をするのに騎乗者は脚で内側へ圧迫したり、離したり、
いろいろな方向に動かします。
馬の動きに合わせて、騎乗者は腰（骨盤あたり）を上下や前後に動かしたりもします。
前の馬との距離を保つ（スピードコントロール）為に手綱の長さを調整（張ったり緩めたり）する必要もあります。
このように騎乗時は上半身、下半身どちらも動かすことが必要で、
馬とのコンタクトに神経を集中させることになります。
私は毎回、筋肉痛ですね……が数日遅れて。。なぜでしょうか。
そして騎乗後の馬友とのカフェタイムによりダイエットはできていない模様です。
～馬ファーストになり馬具やお手入れ用品が欲しくなる。そして乗馬専用ウエアも～
＜私の場合の心の変化＞
始めて間もない頃
→ ウエアや馬具はこだわらない。今持っている物で間に合わそう。
半年くらいで
→ 乗馬系メーカーのキュロット（滑り止め付ズボン）は必須だな。
クラブの鞍はボロボロすぎる・・・乗るのに疲れるな。
最近は……
→ ウエアは乗馬系メーカーがよいな。（機能性よい、デザインがよいなど）
よい馬具を使用すると騎乗時に効果がでるのでほしいなぁ。
（馬の背中にやさしい、馬の肌にやさしい、馬へ脚合図が伝わりやすい、自分が座りやすいなど）
気が付けば、衣類のトップスは馬柄がいっぱい。
普段着使いをしており、いつでも馬を感じている日々……
～駈歩（かけあし）レッスンでいきなり難しくなる～
乗馬での基本の歩様は大きく分けて下記の三種類あります。
●常歩（なみあし）●速歩（はやあし）●駈歩（かけあし）
この駈歩（かけあし）が曲者でして、一番スピードが速く反動が大きい歩様なのですが、
いきなりグッとレベルが上がる印象です。
当たり前ですが、ちゃんと馬に合図/指示が伝わらないと走ってくれません。
そして、馬側の気持ちも「できれば怠けたいなー走りたくないなー」と思っていたりするらしい
（インストラクターさん曰く）
自分の合図が正確にできた＆馬を前進気勢をだせた、それらをタイミングよくできた時、
スムーズに発進してくれるのかな？！
いまだ発進方法に確信が持てず、壁にぶち当たってます……
まぐれでも、ほんの短時間でも駈歩が出た時は嬉しいです♪
いつか暴れん坊将軍みたいに乗れるときは来るのか！？
＜おまけ＞
乗馬している人あるある
●馬の写真を撮ると……
なぜか画面いっぱいに馬の顔 という構図になりがち
スマホの待ち受けはもちろん推し馬の顔写真(笑)
●キラキラしたラインストーン付きの乗馬ウエアが派手と思わなくなる
●ピタピタのキュロット（乗馬用ズボン）の上に長ソックスを履くという恰好が平気になる（笑）
街でも堂々と歩く。
●ニンジンやリンゴの素早いカットができるようになる。
●馬に勝手にアテレコする。（馬の気持ちを勝手にセリフで表現する）
短くまとめるつもりが長文になってしまいました。
乗馬の魅力が少しでも伝われば幸いです。
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■編集後記 ～やさしい動物といえば～
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私は幼いころから、やさしい動物といえば、お馬さんでした。
なぜって、「瞳」がすべてを物語っています。
しかしいつの頃からか、乗馬に憧れはあるものの、恐れも同様にあることに気づきます。
幼いころはポニーに乗ってあんなに喜んでいたのに。
今回、Ｔの趣味を知ることで、私も体験してみたくなりました。
実践したら、またご報告させていただきますね。
（文責：菅千絵子）