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分子膜成膜装置“MVDシリーズ”を取扱い開始しました。

分子膜成膜装置“MVDシリーズ”を取扱い開始しました。

SPPテクノロジーズ株式会社(本社:東京都千代田区、社長:速水利泰)は、成膜ソリューションの1つとして、英国SPTS Technologies社(本社:Wales、社長:Kevin Crofton)の分子膜成膜装置“MVD(Molecular Vapor Deposition)シリーズ”の取り扱いを開始致します。SPPテクノロジーズは、MEMS及び半導体向け製造装置の開発・製造・販売を通して日本の産業発展の一翼を担い、社会に貢献する企業を目指しております。今後ともよろしくお引き立ての程お願い申し上げます。

今回取り扱いを開始致しました“MVDシリーズ”の特長は、以下の通りです。

●種々のアプリケーションにて実績あり(MEMSマイク/加速度センサ/IJH等)

●各種機能膜を成膜可能(スティッキング防止/親水/撥水/防湿/防食/防汚)

●200mm以下、300mmウェーハ/4.5Gパネルサイズ(930 x 720 mm)に対応

●複雑な形状を持つ構造物の上にコンフォーマルな成膜が可能

●低温(150°C以下)にて成膜可能