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【加工例追加】Si DRIE装置 「Predeus（プレデウス）」 の加工性能実例を紹介

SPPテクノロジーズで独自開発したプラズマ源を搭載した Si DRIE装置 「Predeus（プレデウス）」 の加工性能実例を紹介させていただきます。

他にも多数のSi DRIE加工実績がございますので、
より深い加工／より高アスペクト比の加工に関するご要望がございました ら、ご連絡をお待ちしております。

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