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SPPテクノロジーズで独自開発したプラズマ源を搭載した Si DRIE装置 「Predeus(プレデウス)」 の加工性能実例を紹介させていただきます。
他にも多数のSi DRIE加工実績がございますので、 より深い加工/より高アスペクト比の加工に関するご要望がございました ら、ご連絡をお待ちしております。