About SPT 会社案内
History 会社の歴史
SPPテクノロジーズの沿革
- 1984
- Electrotech 社が Special Research Systems (SRS) 社を子会社として英国 Bristol に設立
- 1989
- SRS 社が Surface Technology Systems 社（STS 社）に改名し、英国 South Walesに移転
- 1993
- 住友精密工業が STS 社の日本での販売代理店となる
- 1995
- 住友精密工業が STS 社を買収
STS 社が 世界初のBoschプロセス対応シリコン深掘り装置を出荷
- 2009
- 住友精密工業が Aviza 社の一部事業・資産を買収、SPP Process Technology Systems 社（SPTS 社）を設立して、STS事業と統合
- 2011
- SPTS 社が Tegal 社からDRIE 事業を買収
住友精密工業の英国子会社SPTS 社及び 住精プロセステクノロジーを、
SPTS社現経営陣及び投資会社であるBridgepoint 社が設立する新SPTS 社（SPTS Technologies 社）へ譲渡
国内においては、住友精密工業と新SPTS 社（SPTS Technologies社）で合弁会社“SPPテクノロジーズ”を設立
- 2015
- SPTS 社からTP事業を買収し業容拡大
開発の歴史
- 1989
- 研究開発用半導体一貫製造システム IX200を開発開始
- 1992
- IX200を販売開始 STS 社【(英)、現SPTS 社】と総代理店契約締結
- 1993
- STS 社がBosch 社(独)と共同開発を開始
- 1994
- Boschスイッチングプロセス特許化(米)
- 1995
- Electrotech 社(英）よりSTS 社を買収
世界初のBoschプロセスによるSi深掘り装置 3台を
日米欧に出荷
- 2001
- 国産Si深掘り装置ASE MUC-21を生産開始
- 2003
- Primaxx 社(米)、XACTIX 社(米)(両社、現SPTS 社)
各犠牲層エッチング装置の国内販売開始
- 2007
- Primaxx 社(酸化膜犠牲層エッチング装置)を買収
STS 社を再度100%子会社化
- 2009
- Aviza Technology 社(米)の一部事業を買収し、
SPP Process Technology Systems 社【(英)、SPTS 社】を設立し、Aviza事業とSTS事業を統合
300mm対応Si深掘り装置ASE-Pegasus300を世界主要研究機関に納入開始
- 2011
- SPTS 社(英)がTegal 社のDRIE事業を買収
SPTS 社(英)の株式譲渡(MBO)
※国内においては、住友精密工業と新SPT 社で合弁会社“SPPテクノロジーズ”を設立
- 2015
- SPTS 社(英)からThermal Products事業(米)を譲り受け、子会社SPT USAとして運営を開始
- 2020
- 本社移転
新住所：東京都千代田区一ツ橋一丁目2番2号 住友商事竹橋ビル4階
