About SPT 会社案内
Company outline 会社概要/グループ会社
会社概要
商号 | SPPテクノロジーズ株式会社(英名: SPP Technologies Co., Ltd.) |
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本社所在地 | 〒100-0003 東京都千代田区一ツ橋一丁目2番2号 住友商事竹橋ビル4階 |
電話番号 | TEL:03-3217-2819 FAX:03-3217-2829 |
拠点情報 |
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設立年月日 | 2011年(平成23年)10月 |
資本金 | 495百万円 (株主:住友精密工業株式会社、SPTS Technologies, Ltd.) |
社長 | 速水 利泰 |
取締役 | 田中 雅彦、 Daniel Collins(SPTS社) |
エグゼグティブ シニアアドバイザー |
神永 晉 |
監査役 | 田中 敦 |
社員数 | 約200名(2023年1月1日 現在) |
事業内容 | MEMSデバイスならびに半導体デバイス製造用装置の開発、製造、輸入、販売、および保守(リモートサポート対応可能) |
本社
尼崎事業所
製品
[エッチング装置]シリコン深掘り(Si DRIE)、SiC、 GaN、 GaAs、シリコン・酸化膜犠牲層 他 [成膜装置]PECVD:SiO2膜、SiN膜、PVD:Al膜、AlN膜、MVD:分子膜 他[熱処理装置]LPCVD:Poly-Si膜、SiN膜、アニール 他 [ミニマル装置]シリコン深掘り(Silicon DRIE)、メタル膜エッチング、TEOS プラズマCVD 、SiN プラズマCVD
ビジネス範囲
MEMSデバイスならびに半導体デバイス製造用装置の開発、製造、輸入、販売、および保守(リモートサポート対応可能)をおこなっております。また、ニッチマーケットをターゲットとして、夫々トップを狙います。コア技術 | 真空、プラズマ、プロセス、自動機構 |
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コア製品 | シリコン深掘り装置 (半導体より1~2桁深いエッチング)・世界初の実用化(1995年)により、Si MEMSそのものが一気に開花 ・強い市場で、製品の増強、ソリューションの提供 ・強みを活かせる他の市場への展開 |
市場 | MEMS※、パワーデバイス(パワー半導体)、RFデバイス(高周波デバイス)、LED ※MEMS = Micro Electro Mechanical Systems、微小電子機械システム |
グループ会社
社名 | SPT Microtechnologies USA, Inc. (SPT USA 社) |
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本社 | 米国カリフォルニア州サンノゼ市 |
拠点情報 | ドイツ、シンガポール など |
事業内容 | MEMS・半導体製造工程用の熱処理炉関連ビジネス |