About SPT 会社案内
Company outline 会社概要/グループ会社
会社概要
| 商号 | SPPテクノロジーズ株式会社（英名： SPP Technologies Co., Ltd.） |
|---|---|
| 本社所在地 | 〒100-0003 東京都千代田区一ツ橋一丁目2番2号 住友商事竹橋ビル4階 |
| 電話番号 | TEL：03-3217-2819 FAX：03-3217-2829 |
| 拠点情報 |
|
| 設立年月日 | 2011年（平成23年）10月 |
| 資本金 | 495百万円 （株主：住友精密工業株式会社) |
| 社長 | 速水 利泰 |
| 取締役 | 田中 雅彦、 Vivek Rao (SPT Microtechnologies USA社) |
| 監査役 | 田中 敦 |
| 社員数 | 社員数 220名（2024年4月1日 現在） |
| 事業内容 | MEMSデバイスならびに半導体デバイス製造用装置の開発、製造、輸出／輸入、販売、および保守（リモートサポート対応可能） |
本社
尼崎事業所
製品
［エッチング装置］ シリコン深掘り（Si DRIE）、SiC、 GaN、 GaAs、シリコン酸化膜 他 ［成膜装置］
PECVD：SiO2膜、SiN膜 他 ［熱処理装置］ LPCVD：Poly-Si膜、SiN膜、アニール 他 ［ミニマル装置］ シリコン深掘り（Silicon
DRIE）、TEOSプラズマCVD
Cetus
Predeus、Proxion
ビジネス範囲
MEMSデバイスならびに半導体デバイス製造用装置の開発、製造、輸出／輸入、販売、および保守（リモートサポート対応可能）をおこなっております。また、ニッチマーケットをターゲットとして、夫々トップを狙います。| コア技術 | 真空、プラズマ、プロセス、自動機構 |
|---|---|
| コア製品 | シリコン深掘り装置 （半導体より1~2桁深いエッチング）・世界初の実用化（１９９５年）により、Si MEMSそのものが一気に開花 ・強い市場で、製品の増強、ソリューションの提供 ・強みを活かせる他の市場への展開 |
| 市場 | MEMS※、パワーデバイス（パワー半導体）、RFデバイス（高周波デバイス）、LED ※MEMS = Micro Electro Mechanical Systems、微小電子機械システム |
グループ会社
| 社名 | SPT Microtechnologies USA, Inc. （SPT USA 社） |
|---|---|
| 本社 | 米国カリフォルニア州サンノゼ市 |
| 拠点情報 | ドイツ、台湾 |
| 事業内容 | MEMS・半導体製造工程用の熱処理炉関連ビジネス |
