About SPT 会社案内

Company outline 会社概要/グループ会社

会社概要

商号 SPPテクノロジーズ株式会社 (英名: SPP Technologies Co., Ltd.)
本社所在地 〒100-0003 東京都千代田区一ツ橋一丁目2番2号 住友商事竹橋ビル4階
電話番号 TEL:03-3217-2819 
FAX:03-3217-2829
拠点情報
設立年月日 2011年(平成23年)10月
資本金 495百万円 (株主:住友精密工業株式会社SPTS Technologies, Ltd.)
社長 速水 利泰
取締役 田中 雅彦、 Rutgers Chow(SPTS社)
エグゼグティブ
シニアアドバイザー
神永 晉
監査役 田中 敦
社員数 約198名(2022年1月1日 現在)
事業内容 半導体デバイスおよびMEMSデバイス製造用装置の開発、製造、修理、輸入、及び販売

本社

尼崎事業所

製品

[エッチング装置]シリコン深掘り、SiC、 GaN、 GaAs、シリコン・酸化膜犠牲層 他 [成膜装置]CVD:SiO2膜、SiN膜、PVD:Al膜、AlN膜、MVD:分子膜 他 [熱処理装置]Poly-Si膜、 SiN膜、アニール 他 [ミニマル装置]Si深掘り、メタル膜エッチング、TEOSプラズマCVD 、SiNプラズマCVD
酸化膜/窒化膜成膜装置(CVD)
Cetus / SPTS社 Delta
金属膜成膜装置(PVD)
SPTS社 Sigma
シリコン深掘り装置 シリコン深掘り装置
シリコン深掘り装置
Predeus、Proxion、Pulsar

ビジネス範囲

MEMS・半導体関連のデバイス製造用装置における開発や、製造、輸入、販売、修理などを行なっております。 また、ニッチマーケットをターゲットとして、夫々トップを狙います。
コア技術 真空、プラズマ、プロセス、自動機構
コア製品 シリコン深掘り装置 (半導体より1~2桁深いエッチング) ・世界初の実用化(1995年)により、Si-MEMSそのものが一気に開花 ・強い市場で、製品の増強、ソリューションの提供 ・強みを活かせる他の市場への展開
市場 MEMS※、パワーデバイス(パワー半導体)、RFデバイス(高周波デバイス)、LED ※MEMS = Micro Electro Mechanical Systems、微小電子機械システム

グループ会社

社名 SPT Microtechnologies USA, Inc. (SPT USA 社)
本社 米国カリフォルニア州サンノゼ市
拠点情報 ドイツ、シンガポール、台湾 など
事業内容 半導体製造工程用の熱処理炉関連ビジネス