About SPT 会社案内

Company outline 会社概要/グループ会社

会社概要

商号 SPPテクノロジーズ株式会社
(英名: SPP Technologies Co., Ltd.)
本社所在地 〒100-0004
東京都千代田区大手町一丁目3番2号 経団連会館15階
(住友精密工業株式会社内)
電話番号 TEL:03-3217-2819 
FAX:03-3217-2829
拠点情報
設立年月日 2011年(平成23年)10月
資本金 495百万円
(株主:住友精密工業株式会社SPTS Technologies, Ltd.)
社長 速水 利泰
取締役 田中 雅彦
大槻 文彦
Kevin Crofton(非常勤、SPTS President)
エグゼグティブ
シニアアドバイザー
神永 晉
監査役 芝崎 哲一郎
社員数 約170名(2019年1月7日 現在)
事業内容 半導体デバイスおよびMEMSデバイス製造用装置の開発、製造、修理、輸入、及び販売

本社

尼崎事業所

製品

[エッチング装置]シリコン深掘り、SiC、 GaN、 GaAs、シリコン・酸化膜犠牲層 他

[成膜装置]CVD:SiO2膜、SiN膜、PVD:Al膜、AlN膜、MVD:分子膜 他

[熱処理装置]Poly-Si膜、 SiN膜、アニール 他

[ミニマル装置]Si深掘り、メタル膜エッチング、TEOSプラズマCVD 、SiNプラズマCVD

酸化膜/窒化膜成膜装置(CVD)
Cetus / SPTS社 Delta

金属膜成膜装置(PVD)
SPTS社 Sigma

シリコン深掘り装置 シリコン深掘り装置

シリコン深掘り装置
Proxion、Predeus、Pegasus、Pulsar、Pegasus300

ビジネス範囲

MEMS・半導体関連のデバイス製造用装置における開発や、製造、輸入、販売、修理などを行なっております。
また、ニッチマーケットをターゲットとして、夫々トップを狙います。

コア技術 真空、プラズマ、プロセス、自動機構
コア製品 シリコン深掘り装置 (半導体より1~2桁深いエッチング)
・世界初の実用化(1995年)により、Si-MEMSそのものが一気に開花
・強い市場で、製品の増強、ソリューションの提供
・強みを活かせる他の市場への展開
市場 MEMS※、パワーデバイス(パワー半導体)、RFデバイス(高周波デバイス)、LED
※MEMS = Micro Electro Mechanical Systems、微小電子機械システム

グループ会社

社名 SPT Microtechnologies USA, Inc.
(SPT USA 社)
本社 米国カリフォルニア州サンノゼ市
拠点情報 ドイツ、シンガポール、台湾 など
事業内容 半導体製造工程用の熱処理炉関連ビジネス