About SPT 会社案内

History 会社の歴史

SPPテクノロジーズの沿革

1984
Electrotech 社が Special Research Systems (SRS) 社を子会社として英国 Bristol に設立
1989
SRS 社が Surface Technology Systems 社(STS 社)に改名し、英国 South Walesに移転
1993
住友精密工業が STS 社の日本での販売代理店となる
1995
住友精密工業が STS 社を買収
STS 社が 世界初のBoschプロセス対応シリコン深掘り装置を出荷
2009
住友精密工業が Aviza 社の一部事業・資産を買収、SPP Process Technology Systems 社(SPTS 社)を設立して、STS事業と統合
2011
SPTS 社が Tegal 社からDRIE 事業を買収
住友精密工業の英国子会社SPTS 社及び 住精プロセステクノロジーを、
SPTS 社現経営陣及び投資会社であるBridgepoint 社が設立する新SPTS 社(SPTS Technologies 社)へ譲渡
国内においては、住友精密工業と新SPTS 社(SPTS Technologies 社)で合弁会社“SPPテクノロジーズ”を設立
2015
SPTS 社からTP事業を買収し業容拡大

開発の歴史

1989
研究開発用半導体一貫製造システム IX200を開発開始
1992
IX200を販売開始 STS 社【(英)、現SPTS 社】と総代理店契約締結
1993
STS 社がBosch 社(独)と共同開発を開始
1994
Boschスイッチングプロセス特許化(米)
1995
Electrotech 社(英)よりSTS 社を買収
世界初のBoschプロセスによるSi深掘り装置 3台を
日米欧に出荷
2001
国産Si深掘り装置ASE MUC-21を生産開始
2003
Primaxx 社(米)、XACTIX 社(米)(両社、現SPTS 社)
各犠牲層エッチング装置の国内販売開始
2007
Primaxx 社(酸化膜犠牲層エッチング装置)を買収
STS 社を再度100%子会社化
2009
Aviza Technology 社(米)の一部事業を買収し、
SPP Process Technology Systems 社【(英)、SPTS 社】を設立し、Aviza事業とSTS事業を統合
300mm対応Si深掘り装置ASE-Pegasus300を世界主要研究機関に納入開始
2011
SPTS 社(英)がTegal 社のDRIE事業を買収
SPTS 社(英)の株式譲渡(MBO)
※国内においては、住友精密工業と新SPT 社で合弁会社“SPPテクノロジーズ”を設立
2015
SPTS 社(英)からThermal Products事業(米)を譲り受け、子会社SPT USAとして運営を開始