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化合物エッチング装置 “Spica” が優秀賞を受賞しました。
『電子デバイス産業新聞』(産業タイムズ社)が主催する「第22回半導体・オブ・ザ・イヤー2016」の半導体製造装置部門で、化合物エッチング装置 “Spica” が優秀賞を受賞しました。
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『電子デバイス産業新聞』(産業タイムズ社)が主催する「第22回半導体・オブ・ザ・イヤー2016」の半導体製造装置部門で、化合物エッチング装置 “Spica” が優秀賞を受賞しました。