2016.06.23 News

化合物エッチング装置 “Spica” が優秀賞を受賞しました。

『電子デバイス産業新聞』(産業タイムズ社)が主催する「第22回半導体・オブ・ザ・イヤー2016」の半導体製造装置部門で、化合物エッチング装置 “Spica” が優秀賞を受賞しました。