2019.05.27Event

「2019FLEX Japan」(5/22～23、ザ・グランドホールにて開催)に出展しました。

2019.05.27Event

「Compound Semiconductor Week 2019」(5/20～23、奈良春日野国際フォーラムにて開催)に出展しました。

2019.04.29Event

「MEMS Engineer Forum 2019」(4/24～25、KFCホールにて開催)に出展しました。

2017.12.02Products

シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 “Vetelgeuse” をリリースしました。

2017.06.12News

シリコン深掘り装置 “Proxion” が優秀賞を受賞しました。

2017.05.29Products

分子膜成膜装置 “MVD” の取り扱いを開始しました。

2016.12.13Products

新型プラズマダイシング装置 “Mosaic” の取り扱いを開始しました。

2016.12.13Products

新型シリコン深掘り装置 “Proxion” をリリースしました。

2016.06.23News

化合物エッチング装置 “Spica” が優秀賞を受賞しました。