Products 製品紹介
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成膜／熱処理
酸化膜／窒化膜成膜装置 Cetus
低ストレスシリコン窒化膜や、厚膜シリコン酸化膜の形成用プラズマ成膜装置です。
300mm対応酸化膜／窒化膜成膜装置 Delta SPTS Technologies社製
300mmウェーハ対応の低ストレスシリコン窒化膜や、TSVライナー絶縁酸化膜の形成に最適なプラズマ成膜装置です。
金属膜成膜装置 Sigma SPTS Technologies社製
パワーデバイス向け厚膜アルミ膜や、圧電体薄膜であるアルミ窒化膜、3次元貫通電極（TSV）用バリア／シード膜などの形成に最適なスパッタ（PVD）装置です。
熱処理装置（縦型炉）AVP/RVP-300 SPT Microtechnologies USA社製
多種多様な要求に対して、最適なプロセスを高スループットにて提供可能な熱処理装置です。
分子膜成膜装置 MVD SPTS Technologies社製
分子を材料として、分子膜を形成する成膜装置です。
