Products 製品紹介

熱処理装置(縦型炉) SPT Microtechnologies USA社製 AVP/RVP/RVP-300

成膜/熱処理

SPTS
熱処理装置(縦型炉) Vertical Furnace System
多種多様な要求に対して、最適なプロセスを高スループットにて提供可能な熱処理装置です。

熱処理装置(縦型炉)
SiN成膜のストレスコントロール
SiN成膜のストレスコントロール
スループット比較
スループット比較

Feature 特徴

酸化膜やドープ/非ドープの多結晶シリコン膜、窒化膜の成膜が可能
低ストレスの窒化膜の成膜、In-situクリーニングの提供が可能
デュアル・ボート装置としては、最小フットプリントを実現
デュアル・ボートの採用により、高スループットを実現
ロードロック内を低酸素雰囲気にして、待機時の自然酸化膜を抑制
150mmウェーハと200mmウェーハの混載処理が可能(AVP/RVP)
300mmウェーハまでの処理が可能(RVP-300)
Across-Flowインジェクターにより、面内膜厚均一性、バッチ内バラツキの低減が可能(RVP-300)

Application アプリケーション

MEMSデバイス ※

インクジェットプリンタヘッド

3次元貫通電極(TSV)

パワーデバイス(パワー半導体)

LED

光デバイス

RFデバイス(高周波デバイス)

※ MEMSデバイス:加速度センサ、ジャイロセンサ、圧力センサ、シリコンマイク、シリコン共振器、光スイッチなど

成膜/熱処理 その他の製品